我們知道，壓力變送器在很多工業(yè)設(shè)備中，是用來控制工業(yè)過程和壓力變化的重要原件，其主要用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力。壓力變送器分電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器，陶瓷壓力變送器，應(yīng)變式壓力變送器等。

 　　壓力變送器是直接與被測介質(zhì)相接觸的現(xiàn)場儀表，常常在高溫、低溫、腐蝕、振動、沖擊等環(huán)境中工作。在石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測量及現(xiàn)場控制中，應(yīng)用非常廣泛。 　　

下面，小編為您簡單介紹一下有關(guān)壓力變送器的發(fā)展歷程。

總體來說，壓力變送器的發(fā)展大體經(jīng)歷了如下四個階段。 　　

1945-1960年的發(fā)明階段 　　

這個階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯于1945年發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力變送器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上，即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進行測量。此階段最小尺寸大約為1厘米。 　　     

1960-1970年的技術(shù)發(fā)展階段 　　

隨著硅擴散技術(shù)的發(fā)展，技術(shù)人員在硅的001或110晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯變送器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點，實現(xiàn)了金屬-硅共晶體，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。 　　

1970-1980年的商業(yè)化集成加工階段 　　

在硅杯擴散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴散硅變送器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕，數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn)，實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式，成本進一步降低。 　　

1980年至今的微機械加工階段 　　

上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù)，使得微機械加工工藝成為可能。通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力變送器，其線度可以控制在微米級范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力變送器進入了微米階段。